製品・サービス
■コーティング装置一覧
真空とプラズマを利用し、 様々な材料に薄膜や改質層を成形し、付加価値を高める装置を製造。ユーザーのニーズに合う多種、多様な真空装置のカスタマイズ製作を行います。
【DLC(ダイヤモンドライクカーボン)】
ダイヤモンドの性質に近い高硬度(マイクロビッカース硬度2,000〜4,000),低摩擦係数(μ=0.2以下),表面平滑性及び耐溶着性・離型性に優れたダイヤモンド・ライク・カーボン成膜装置のスタンダードモデル。
【ICF成膜装置】 ICF シリーズ
DLCを含む高機能性を持つカーボン膜による超鏡面性、導電性、耐熱性、撥水性、アルミニウム合金用、光学用、絶縁性、環境調和型を付与したコーティング装置。
【マルチPVD成膜装置】 DASH シリーズ
低摩擦係数で高硬度を持つダイヤモンド・ライク・カーボン(DLC)膜の生成をベースに、各種蒸発源を併用することによりDLC膜の密着力の向上、厚膜化、複合膜化などの研究開発を目的に開発された装置です。また、アーク源やHCDガンを単独で使用すれば、チタンやクロム系の薄膜/合金膜のコーティングも、さらにスパッタリングやEBガンを使用すれば酸化膜のコーティングも可能となります。
【PSII方式マルチPVD成膜装置】 NPS シリーズ
イオン化蒸着法によるDLC成膜を基本に、幅広いアプリケーションに対応すべく新開発のPSII電源を標準で搭載して、その放電パラーメータによるDLC 膜の塑性制御を容易にし、更に多層膜や複数の原料を使用してドーピング成膜をすることで、全く新しい特性のDLC膜も処理が可能です。量産用生産機から開発を目的とした実験機と、あらゆる用途に適応します。
【ホローカソード型PVD成膜装置】 NTH シリーズ
弊社真空装置技術の基礎となった伝統のモデルです。独自に開発したホローカソード型イオンプレーティング方式によって、TiN、TiCN、CrN等のハードコーティングをドロップレットの少ない、平滑で密着性の高い成膜処理を可能にしました。
【小型DLC成膜実験装置】 330 シリーズ
弊社のDLC成膜技術をベースに、あらゆる研究開発を目的とする御客様からの要求にお応え出来るように開発されたDLC成膜実験機の最新モデル。コンパクト設計ではありながら、PSII電源標準装備や高周波スパッタ源等を追加可能で、大型生産機と同様の複合成膜も一台で実験が可能。
【DLC剥離処理装置】
DLC膜及び中間層膜を弊社独自のプラズマ技術によって剥離・洗浄が可能な専用モデル。DLC膜の代表的な特徴でもある、成膜⇔剥離を繰り返し行えるリサイクル機能の剥離工程を担当する重要な装置。
■コーティング受託加工
コスト削減、省エネ、耐久性、寿命向上 に役立つDLCとICFコーティングでお客様のニーズに合わせた表面処理を少量サンプル試作から大量生産の受託加工を行っています。
■薄膜評価試験機
ナノテックは、スイスCSM Instruments SA 社製の 各種試験機の日本総代理店として試験機の販売・アフターサービス・受託測定を行っています。
■表面分析
ナノテック社内にある表面分析センターの 実験装置・評価試験機器を用いてお客様と共に実用を前提とした研究・試験を提供しています。
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